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제품

SMX

정밀 스테이지 > 얼라인먼트 스테이지

SMX

동일평면 상 X-Y, θ 멀티모션 구현이 가능한 고정밀 얼라이먼트 STAGE

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정밀 스테이지 라인업

얼라인먼트 스테이지 SMX 단축스테이지 TX
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제품 사양

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제품 사양 내용
형번 테이블 규격 베이스 규격 반복정밀도
(㎛)		 가반 하중
(kg)		 모터용량
(w)
SMX05 15 150X150 200X200 ± 1 15 50
SMX10 20 200X200 300X300 20 100
25 250X250 350X350 60 100
35 350X350 450X450 60 100
SMX20 40 400X400 500X500 100 200
50 500X500 600X600 100 200
75 750X750 850X850 100 200
SMX30 100 1000X1000 1200X1200 300 400
150 1500X1500 1700X1700 300 400

*형번 별로 상세 사양이 상이하오니 반드시 카탈로그를 확인해주세요.

제품 옵션

테이블 사이즈 옵션

• 사이즈, 취부, 형상

구동축수 옵션

• 3, 4축 구동

센서옵션

• 방향/위치/개수

레이던트 옵션

• BALL SCREW, LM GUIDE 내식성처리
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  • 컴팩트한 구조

    베이스와 탑테이블 SADDLE 없이 직선과 회전운동 가능한 구조 단순화.

  • 구동요소 모듈화

    크로스 롤러 베어링과 LM GUIDE를 적용한 구동요소 모듈화 및 표준화로 고객대응 경쟁력 확보

  • 대형화

    탑테이블 사이즈를 1500X1500까지 표준화하고, 모듈개수에 따라 탑테이블 사이즈 CUSTOMIZING하여 대응 가능.

  • 중공구조

    베이스와 탑테이블의 중앙부에 홀을 가공 광학식 측정장비의 부착이 용이.

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