가로로 스와이프하여
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| Structure | Cylindrical Type | 
|---|---|
|  
 Model  | 
 LTR-VD5FP0_5L  | 
|  
 Applicable Panel Size  | 
 715mm x 174mm  | 
|  
 Pay Load [Arm]  | 
 20kg  | 
|  
 Robot Mass [Body only]  | 
 630kg  | 
|  
 Position Repeatability  | 
 ±0.2mm  | 
|  
 Vacuum Pressure  | 
 4x10^-8 torr  | 
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