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| Structure | Cylidrical | 
|---|---|
|  
 Model  | 
 WTR-AS1526, AD1521, AS2020, AD2020, AS3020, AD3020  | 
|  
 Applicable Wafer Size  | 
 300mm  | 
|  
 Pay Load  | 
 0.2Kg  | 
|  
 Position Repeatability  | 
 ±0.1mm  | 
|  
 Robot Mass  | 
 35kg, 38kg, 40kg, 45kg, 50kg, 55kg  | 
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