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Structure | Cylidrical |
---|---|
Model |
WTR-AS1526, AD1521, AS2020, AD2020, AS3020, AD3020 |
Applicable Wafer Size |
300mm |
Pay Load |
0.2Kg |
Position Repeatability |
±0.1mm |
Robot Mass |
35kg, 38kg, 40kg, 45kg, 50kg, 55kg |
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