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| Structure | SCARA | 
|---|---|
|  
 Model  | 
 WTR-AS3010, AS3011  | 
|  
 Applicable Wafer Size  | 
 300mm  | 
|  
 Pay Load  | 
 0.2Kg  | 
|  
 Position Repeatability  | 
 ±0.05mm  | 
|  
 Robot Mass  | 
 70kg  | 
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